微机电边界元分析（MEMS boundary element analysis），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，在有限元分析之后发展起来的一种精确高效的工程分析数值方法。边界元分析主要基于控制微分方程的基本解来建立相应边界积分方程，通过对边界元插值离散，将问题转化为代数方程组的求解。与有限元分析相比，边界元分析降低了问题的维度与计算复杂度，只需离散求解域边界，可用较简单的单元准确描述边界形状，更适合处理开放空间内物理问题。经过50多年的发展，不仅在固体与结构分析领域成为有限元分析最重要的一种补充，而且在微机电系统电磁场分析和大型结构电磁波散射分析等领域也得到广泛应用。由于利用微分算子解析基本解作为核函数，边界元分析具备了解析与数值相结合的特点，通常具有较高的精度，尤其适用于边界变量变化梯度较大的问题，如应力集中和边界变量出现奇异性的裂纹问题等。此外，边界元分析还能够自动满足无限远处的条件，更加便于处理无限域以及半无限域问题。