电容薄膜式真空计

电容薄膜式真空计（capacitance film vacuum gauge），理学-物理学-热学-〔第一批〕，一种根据压差引起电容变化为原理的真空计。压力使薄片变形，与压力大小成比例的变形量通过电容值进行表征。测量范围为1大气压10-3帕。