金属微机电系统（metal-based MEMS），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，以金属为主要功能及结构材料的微机电系统（micro electro-mechanical system; MEMS）器件。结构尺寸在0.1毫米以下，可以追溯到精密机械手表中的微小齿轮或轴等零件。因金属抗拉强度、耐高温等性能，相比传统硅MEMS能提供更高的可靠性。加工主要基于各种先进金属微加工工艺，包括：①精密切削/磨削加工。从传统精密机械加工发展而来，日本学者在这方面进行了大量研究。②激光加工。从传统激光加工发展而来，为非接触热加工，微细工件机械变形极小，由于飞秒激光的发展而得到越来越多的应用。③微细电火花加工（micro electrical discharge machining; μ-EDM）。从传统电火花技术发展而来，一般指用线电极或具有微细结构的面电极以电火花放电方式加工微孔、微槽等各种微小复杂形状零件。④光刻、电铸与微成形。一般指通过软X射线光刻，加之金属镍电铸成型的一种微细加工途径，后期又发展了基于深紫外光刻及其他金属如铜的电镀工艺。⑤金属深刻蚀。