微机电物理仿真（micro electro-mechanical system physical simulation），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，在系统的物理模型上进行试验的技术。微机电物理仿真是以物理性质和几何形状相似为基础，其他性质不变，构造系统的物理模型，并在物理模型上进行试验。物理模型是用几何相似或物理类比方法建立的，它可以描述系统的内部特性，也可以描述试验所必需的环境条件，即是将实际过程中的物理因素的变化映射到模型中，揭示物理本质，物理现象以及规律。如微机电系统（MEMS）工艺中的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀模拟，是在按比例缩小的硅刻蚀模型内，在刻蚀过程中的离子、电子、中性粒子在不同电场、气压以及它们内部的相互作用下，模拟它们对衬底硅的刻蚀效果。物理仿真不同于几何仿真，它更可靠，是以实际加工经验为基础建立起来的仿真系统，是一个真实场景的预测性显示。微机电物理仿真的特点包括：①物理仿真是通过建立物理模型来实现的。②物理仿真系统是真实系统的几何相似物或物理类比物。