臭氧催化氧化（ozone catalytic oxidation），工学-化工-〔化工安全与环保〕-化工环保-废水治理方法-深度处理，在常温常压条件下，利用金属、金属离子、金属氧化物或负载到载体上的金属氧化物等对难降解有机污染物进行处理的工艺。臭氧催化氧化常用的催化剂主要是过渡金属，例如Fe2+、Cu2+、Mn2+、Ni2+等均相催化剂。将金属氧化物负载到载体上制作负载型催化剂时，常用的载体有活性炭、氧化铅、陶瓷、硅藻土等。载体的种类、结构影响催化剂的催化活性、表面性质等，进而影响臭氧催化氧化性能。因此，选择比表面积大、稳定性好、环境友好的载体对臭氧催化氧化性能至关重要。臭氧催化氧化主要分两种：①均相臭氧催化氧化。溶液中金属离子作催化剂，一是金属离子促进臭氧分解，生成·OH；二是催化剂离子和有机物络合，然后最终被氧化。溶液pH和反应物投加量等因素影响均相催化反应的效率和机理。均相臭氧催化氧化反应条件温和、效率较高，但在体系中引入了金属离子，造成催化剂易流失、回收利用难、出水存在二次污染、处理成本增加。可处理的污染物有甲酸、水杨酸等有机酸以及酚类、苯衍生物等。②非均相臭氧催化氧化。