微机电工艺库（process library），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微机电系统分层级设计，各种微机电加工工艺的集合。通常用于微机电设计软件中，方便硬件开发者设计操作。工艺库提供微机电所需的各种单元和大量的布局布线的时序模型。常用的包含工艺库的电路设计软件：Synopsys，Cadence软件等。微机电工艺库分为逻辑库和物理库两类。逻辑库由库分组、库级属性、环境描述和单元描述几个部分组成。①库分组，定义了库的名字和库的具体描述，建议库文件名与库名一致。②库级属性，描述了整个库的特性，包括工艺类型、日期、版本和应用于整个库的默认值。③环境描述，定义了模化参数，如温度、电压和制程，这些模化参数由比例因子（Scaling factors）、时序范围模型（Timing range model）和运行条件（Operation conditions）组成。另外，环境描述还包含线负载模型（Wire-load model），这个模型被DC用来估算互连线延迟。④单元描述，在库中的每一个单元中都有。