电容式测微仪（capacitance comparators），工学-机械工程-机械工程基础-[测试理论与技术]-测量-量仪，采用电容调频或电容运算原理的非接触式精密测量仪器。适用于机械、塑料等行业中的几何量计量。电容式测微仪可配有成套的传感器。利用电容变化来测量位移始于20世纪初。此后，电容式测微仪的优点逐步被人们发现，随着电缆分布电容、非线性误差、动态测量范围等技术问题的不断改善与解决，使其得到广泛的应用。电容式测微仪是利用电容传感器实现测量的。物体间的电容量与其结构参数密切相关，电容式测量原理就是通过改变结构或介质参数从而改变物体间的电容量来实现对被测量的检测。从电容式测微仪的传感器的结构形式看，主要有平行板型、球平面型和圆柱体型三种类型。以平行板型电容器为例，其结构可以简化为由两块金属片作极板组成。电容值计算式为：式中为电容极板间介质的介电常数；为极板面积；为极板间隔距离。只要改变中任何一个参数，就可以使电容值改变。因此，根据测量目的不同而可以有三种平行板型电容传感器：变极距型、变面积型和变介电常数型。