纳米压印技术

纳米压印技术（nanoimprint technique），理学-化学-高分子化学-高分子纳米体系-纳米图案化-纳米压印技术，利用机械压力将模板上的纳米图案等比例压印复制到目标基底上的纳米图形加工技术。简史1995年美国华裔科学家周郁[注]首次提出纳米压印技术，在热塑性高分子薄膜上成功实现10纳米尺度图形的纳米压印加工。在此基础上，采用可透过紫外光的模板压印可紫外交联的高分子预聚体，发展出了紫外纳米压印技术。通过将纳米图案加工到滚筒表面作为模板，发展出了卷对卷纳米压印的技术。