微纳发电机(micronano generator),工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件,采用微纳米制造技术制备、尺度为微纳米级的具有能量采集和转换功能的发电机。依据工作原理的不同,微纳发电机可分为电磁式、压电式、热释电式、摩擦生电式、光电式等类型。其中最为重要的两类微纳发电机为压电式和摩擦生电式。压电式纳米发电机是由美国佐治亚理工学院的王中林等率先在2006年提出,利用氧化锌(ZnO)纳米线的压电特性将机械能转换为电能。经过十多年的发展,2012年时其输出电压已达到了10~50伏,输出功率密度达到了10~500兆瓦/厘米3。但压电式纳米发电机的输出性能无法满足微器件和系统的需求,其功率密度仍然不高。这一问题成为限制压电式纳米发电机应用的关键因素。而造成这一问题的技术瓶颈在于纳米线阵列密度不高(即单位面积内纳米线数量有限)。此外,压电纳米线材料与电极接触的稳定性和可靠性不佳,导致压电式纳米发电机很难实现真正的柔性器件,限制了其应用领域。