硅基传感器

硅基传感器（silicon based sensor），工学-仪器科学与技术-传感器-［传感器材料］，敏感结构由硅材料制作，或者以硅材料为衬底，在衬底上制作薄膜敏感结构的传感器。又称硅传感器、硅换能器。通常采用微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）微纳制造工艺技术，或者继承集成电路单步工艺技术制作而成，核心敏感结构特征尺寸一般在亚微米、几微米、几十微米或者几百微米。