离子束刻蚀

离子束刻蚀（ion beam etching），工学-机械工程-机械工程基础-〔机械制造基础〕-加工制造-微纳机电系统-磁致动器，利用具有一定能量的高能离子束流轰击待刻蚀材料的表面，高能离子束的动量会传递给待刻蚀材料表面的原子或分子，产生溅射效应，达到刻蚀形成需要的几何图形的工艺。又称离子铣。选择合适的离子束流，可以对不同材料实施高速微区刻蚀。离子束刻蚀是一种纯物理的、基于等离子体的刻蚀工艺，属于干法刻蚀工艺范畴。