超高纯元素

超高纯元素（super-pure element），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-超纯材料，硅、锗、硒、磷、铟、锑、镓、铝、砷、锌、镉、汞、锡、铅、硫、氧、氦等半导体用超纯材料。见超纯材料。