气相生长法
(工学 | 材料科学与工程)
气相生长法(vapor growth method),工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-[体单晶制备方法]-气相生长法,通过气相中的原子(或分子)在结晶界面上不断沉积实现晶体生长的技术。
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