绝缘体上硅薄膜

（计算机科学技术）

绝缘体上硅薄膜（silicon on insulator，SOI），计算机科学技术名词，使用“硅-绝缘体-硅”三层结构材料代替传统硅材料衬底的半导体制造工艺。具有高速度、低功耗、抗辐照等优点。