热阴极高频溅射

热阴极高频溅射（hot cathode high- frequency sputtering）是2013年公布的机械工程名词。借助于热阴极和阳极获得非自持气体放电，气体放电产生的离子在靶表面负电位的作用下加速而轰击靶的溅射。