高能电子衍射仪

高能电子衍射仪（high electron energy diffractometer），机械工程名词，电子能量为5～500keV，电子束是单色的、近似平行的，直径为10-3～10-2m，通过荧光屏或其他检测器探测前向散射电子形成的衍散图的电子衍射仪。