低能电子衍射仪

低能电子衍射仪（low electron energy diffractometer），机械工程名词，电子能量小于500eV电子束是单色的、近似平行的，直径为10-3～10-2m，通常垂直入射，利用集电极或半球形荧光屏来探测被弹性反向散射的电子形成的衍射图的电子衍射仪。