声学扫描显微镜

声学扫描显微镜(SAM)是一种多功能、高分辨率的显微成像仪器，产于美国。声学扫描显微镜(SAM)是一种多功能、高分辨率的显微成像仪器，兼具电子显微术高分辨率和显微术非破坏性内部成像的特点， 被广泛的应用在物料检测（IQC）、失效分析（FA）、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域，可以检测材料内部的晶格结构、杂质颗粒、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡、空隙等，为司法鉴定提供客观公正的微观依据。