焦距能量矩阵

焦距能量矩阵(Focus Energy Matrix， FEM)是在进行曝光时，从一个方向以固定的步长改变聚焦值，另一个方向以一个固定的步长改变曝光能量所得到的一组数据，其聚焦-能量矩阵设置如图1所示。