离子表面处理

（化学术语）
离子表面处理，离子束混合是用离子轰击镀有多层薄膜的金属，使各层原子因离子碰撞发生互混，主要用于冶金学研究。离子注入技术在集成电路和微电子技术方面已得到广泛应用。
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