俄歇深度剖析

（化学）

俄歇深度剖析（Auger depth profiling），化学名词，超高真空条件下，用氩离子枪对样品表面进行逐层溅射，同时收集被溅射表面有关元素的俄歇信号强度随深度变化的分析方法。