活性反应蒸镀

活性反应蒸镀（activated reactive evaporation deposition），材料科学技术名词，在离子镀膜过程中，向真空室导入反应气体，通过各种放电方式使蒸发离子与反应气体作用使其活化，加速它们之间的反应，在基底表面获得所需化学配比的化合物膜。