纳米加工技术
(材料科学与工程学术语)
纳米级精度的加工和纳米级表层的加工,即原子和分子的去除、搬迁和重组是纳米技术主要内容之一。纳米加工技术担负着支持最新科学技术步的重要使命。国防战略发展的需要和纳米级精度产品高利润市场的吸引,促使了纳米加工技术产生并迅速发展。纳米加工技术的发展也促进了机械、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展。
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