射频电源

（科技产品）
射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中.射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中.
用户数据
参数表
继承树
构成树
关注人数：
0
技点进度：
0/0
题库进度：
0/0
技能进度：
0/
关注级别：