纳米沟道（nanochannel），理学-化学-物理化学-纳米物理化学-纳米沟道，宽度为纳米尺度的沟道结构。纳米沟道是生物化学、微纳流体行为、纳米光学、生物医学等方面研究的重要载体，是微流控芯片的核心部分，也是纳米制造工艺研究的主要对象之一，不仅在器件的小型化、集成化等领域有着重要的作用，同时对纳米尺度下的传质、电子输运等基本科学问题研究有着重要的意义。纳米沟道的构筑手段主要分为三大类，包括曝光技术、纳米压印技术和化学刻蚀技术。①曝光技术。主要通过曝光的方法形成的纳米结构，其尺寸限制并不是加工工具本身，而是成像系统的分辨率。例如光波的波长、激光束、电子束或离子束直径等。普通商业电子束光刻机可以实现20纳米线宽的器件加工。曝光技术主要包括光刻、电子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀、扫描探针加工技术等方法。②纳米压印技术。是将一具有纳米图案的模板以机械力高温、高压在涂有高分子材料的硅基板上等比例压印复制纳米图案。其加工分辨力只与模板图案的尺寸有关，不受光学光刻的最短曝光波长的物理限制，具有低成本、高产出的经济优势。