微纳测试（micro and nano characterization），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，对微纳米级结构的典型物理量和系统特征参数进行测试的技术。测试是获取一切物体定量信息的手段，微纳测试技术主要指微米、纳米尺度和精度的检测技术。微纳测试技术一般用于测量与长度相关的量，如长度、位移、速度、加速度、振动、应变、表面粗糙度、三维形貌等。主要检测方法和技术包括显微镜、干涉/衍射测量、探针轮廓仪、光纤测量、电镜、X射线衍射和微区测量分析技术等。1590年，荷兰人Z.詹森（Zacharias Janssen）发明了第一台光学显微镜，开启了人类微观探测的新纪元。随后，迈克尔逊干涉仪、X射线分析法、电子显微镜、扫描探针显微镜等测试技术的出现，为微纳测试技术的发展奠定了基础。微纳测试主要包括圆片级测试、管芯级测试和器件级测试。