微继电器

微继电器（micro relay），工学-机械工程-机械工程基础-微纳与仿生机械-﹝微纳机械﹞-微纳器件，基于微机电系统（MEMS）技术制作的微型继电器。最早的静电型微继电器的报道是在1979年，采用了金属触点以减小接触电阻和增大负载能力。此后，出现了利用互补型金属氧化物半导体工艺的多晶硅静电型微继电器，但其触点负载能力仅有10毫安左右，驱动电压在30～400伏。随后，通过选择触点材料，出现了以降低触点接触电阻的静电型微继电器，其触点寿命达到了108次，但其驱动电压依然很高。