铝镓氮(aluminum gallium nitride),工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-化合物半导体-三元化合物半导体-铝镓氮,由铝(Al)、镓(Ga)与氮(N)化合而成的三元固溶体半导体材料。铝镓氮属于极性共价化合物,其中Al、Ga带正电,N原子带负电。分子式为AlxGa1-xN,其中x为Al原子占阳离子的摩尔百分数,也称Al组分。铝镓氮有闪锌矿和纤锌矿两种结构。闪锌矿结构属于亚稳相,纤锌矿结构属于稳定相。纤锌矿结构铝镓氮属于直接跃迁型能带半导体,具有很强的极化效应。在垂直于c面(0001)方向受到平面双轴应力时,其材料的两侧表面会出现同等数量相反电性的电荷分布。其晶格常数a(x)可以通过GaN和AlN晶格常数的线性插值(Vegard定律)得到。铝镓氮薄膜可以通过化学气相沉积,如金属有机化学气相沉积(MOCVD,见金属有机化合物气相外延)、分子束外延(MBE),在硅、蓝宝石、碳化硅等衬底上外延制备。1991年,研究者首次使用AlGaN作为势垒层,通过MOCVD生长了高电子迁移率AlGaN/GaN的异质结构。