增压真空泵

增压真空泵（booster vacuum pump）是2013年公布的机械工程名词。通常设置在前级真空泵和高真空泵之间，用以增加中间压力范围内抽气系统流量或改善系统压力分布，以降低前级泵所必需抽速的真空泵。