分子层外延

分子层外延（molecular layer epitaxy，MLE），材料科学技术名词，将含有化合物半导体组元的气体分子，单独交替地引入到生长室，在准分子激光或紫外光同步辐照下，加速衬底表面被吸附分子的化学分解与表面迁移，促进薄膜晶体生长的技术。