射频功率源
(工业术语)
《射频功率源》又称射频电源,是可以产生固定频率(13.56MHz,27.12MHz等频点)的正弦波、具有一定功率的电源。已广泛应用于半导体工艺设备;LED与太阳能光伏产业;科学实验中的等离子体发生;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。
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