微电子工厂

微电子工厂（microelectronic manufactory），建筑学名词，运用微电子技术和高密度组装技术，将微电子器件和微小型元件组装成适用的、可生产电子硬件，并提供各个领域使用的工厂。由于生产的特点要求厂房恒温、洁净(特别是尘埃颗粒的大小和含量)、隔震，在公用设施上也有特殊的要求。