环化光刻胶

环化光刻胶是化学术语。环化光刻胶cy-clixed resi、又称环化橡胶型光致抗蚀剂一系由环化大然橡胶、增感hll(或称交联剂，如对叠氮型化合物)、光敏剂，以适当溶3}I，<}L制而成。有较好的抗蚀性能，叮用于光刻多种金属如铬、翎、铝、镍一铬以及硅、硫化铅、锑化锢等，也可用于多种电路光刻工艺、集成电路以及红外元件低温光刻。