四乙基正硅酸盐
(半导体相关)
四乙基正硅酸盐,含有硅与碳、氢与氧的有机硅源,化学分子式是Si(OC2H5)4,其沸点较高,常压下约(169℃)。在CVD制程的应用上,TEOS在足够的温度下TEOS进行反应而产生二氧化硅
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