绝缘层上有硅

绝缘层上有硅SOI'绝缘层上有硅（SOI，SiliconOnInsulator)'是指将一薄层硅置于一绝缘衬底上。晶体管将在称之为'SOI'的薄层硅上制备。基于SOI结构上的器件将在本质上可以减小结电容和漏电流，提高开关速度，降低功耗，实现高速、低功耗运行。作为下一代硅基集成电路技术，SOI广泛应用于微电子的大多数领域，同时还在光电子、MEMS等其它领域得到应用。