卡罗酸

（其他化学相关）
基本反应条件:当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸(H2SO5)。H2SO5通常被称为卡罗酸,可以同H2O2反应得到OH●和HSO4●反应基。这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH●和HSO4●反应基之间的反应很弱。过一硫酸卡罗酸
用户数据
参数表
继承树
构成树
关注人数：
0
技点进度：
0/0
题库进度：
0/0
技能进度：
0/
关注级别：