有机锡源
(有机锡化合物)
用于金属有机化合物气相沉积(MOCV17)具有很高挥发性、高纯度的有机锡化合物。可燃性液体。主要指四甲基锡仁( C:Hs ) a}n .、四乙幕锡t }}Hs).tSn}。以烷基铝和四氯化锡为原料制备。采用精密精馏、减压精馏和分子蒸馏技术提纯精制。
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