冷壁外延

（材料科学技术）

冷壁外延（cool wall epitaxy），材料科学技术名词，化学气相沉积时反应器壁被冷却，而外延衬底被加热，外延生长在单晶衬底上进行，而不会发生在反应器壁上的单晶薄层制备方法。