硅片制备

guipian zhibei 硅片制备 的单晶硅片的工艺，、化学腐蚀、抛光，以及几何尺寸和表面质量检测等工序。切片前先将硅单晶棒研磨成具有精确直径的单晶棒，再沿单晶棒的晶轴方向研磨出主、次参考面，用氢氟酸、硝酸和冰醋酸的混合液腐蚀研磨面，称为减径腐蚀。