过渡版

在掩模版制造工艺中，为了达到一定的精度，需要对原图进行多次缩小照相才能制作出主掩模，其间所出现的所有掩模版称之为过渡版。例如，采用分步重复机多次精缩拼接方法制备周期性强的高密度、大尺寸和高精度掩模版时，就会出现比实际掩模版尺寸大1000倍、100倍和10倍的多种过渡版，这些过渡版通常也可以作为分步重复机拼接合成高精度、复杂掩模版的图形版，相当于图形拼接合成的图素。