试作芯片
(半导体相关)
PilotWafer为试作芯片,并非生产芯片(PrimeWafer)。在操作机器前,为了确定机器是否正常所作的试片,或机器作完维修、保养后所作的测试用芯片均称为PilotWafer,由于PilotWafer所作出来的结果将决定该批的制程条件,故处理PilotWafer时,所抱持的态度必须和处理PrimeWafer一样慎重。
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