磷硅玻璃
(半导体相关)
PSG磷硅玻璃是一种含磷的二氧化硅,我们现有制程中P的含量为4.25%。PSG与PESiN一起构成Passivation。作用:防止PESiN有Pinhold使水汽渗透进来。亦可以抵消PESiN的应力。加磷的主要目的是吸附杂质。
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