电浆

PECVD英文全名为PlasmaEnhancementCVD。CVD化学反应所需的能量可以是热能、光能或电浆。以电浆催化的CVD称做PECVD。PECVD的好处是反应速率快、较低的基板温度及StepCoverage；缺点是产生较大的应力，现Feb内仅利用PECVD做氮化硅护层。