挡片
(半导体相关)
DummyWafer挡片对制程起一定辅助作用的硅片,区别于产品、控片,一般对其质量要求不是很高。由于炉管的两端温度不稳定,气体的流量不稳定,所以我们在Boat的两端放入不是产品的硅片,我们将这样的硅片叫挡片。离子植入若产品不足,则需补上非产品的硅片,即挡片。
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