晶舟
(半导体相关)
Boat晶舟Boat原意是单木舟。在半导体IC制造过程中,常需要用一种工具作芯片传送及加工,这种承载芯片的工具,我们称之为Boat。一般Boat有两种材质,一是石英(Quartz),另一碳化硅(SiC)。SiCBoat用在温度较高(Drivein)及LPSiN的场合。
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