扫描场
(地理 名词)
扫描曝光方式的电子束曝光系统或者激光曝光系统中,偏转器的偏转范围有限,需要设定一定大小的扫描宽度,在这个范围内可实施偏转畸变校正,这个扫描曝光的范围称为扫描场[1]。场与场之间的拼接靠台面的精密移动实现,为了保证曝光的拼接精度,通常还在偏转区内设定更小的子场,子场之间的图形拼接精度控制偏转系统实现,扫描场的大小由扫描模式确定[2][2]。
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